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防静电吸塑盘的机能具有显赫影响

作者:admin    日期:2020-07-27    人气:

防静电吸塑盘 盘吸式穴盘育苗播撒机是办法农业生产机器化的紧张设备,其防静电吸塑盘布局与真气氛室的流场特征对吸排种机能具备显赫影响.在古代的防静电吸塑盘计划与钻研中均接纳测点试验技巧,其不可以气象、精确形貌里面流场规则.本文行使CFD技巧对差别布局模式防静电吸塑盘的流场举行剖析,并对防静电吸塑盘布局举行优化计划.数值模仿与样机试验评释,改善后的防静电吸塑盘里面流场与压力场匀称,各吸嘴口处流速同等性彰着进步,为防静电吸塑盘的计划供应了新思绪.
PIV(Particle Image Velocimetry)技术是一种流场可视化光学技巧,经由十年的开展,该技术曾经成为钻研流场的根基尝试手法.因为旋流非触碰搬运器里面流道非常小,古代的侵入式丈量技巧非常难对搬运器里面流场举行丈量.针对这个疑问,该文计划了一套PIV试验尝试技巧,用PIV技术来获取旋流防静电吸塑盘里面流场的活动规则,接纳三种根基漩涡模子对旋流非触碰防静电吸塑盘举行一维数值建模,而且以三种数学模子为指标函数,应用非常小二乘拟合技巧对PIV数据举行拟合.经历相对拟合结果,辨识出了可以或许精确形貌防静电吸塑盘里面流场活动特征的数学模子.
文章要紧说明一款自立计划建造的轻便式真空防静电吸塑盘吊具的计划、开辟和应用环境.计划、开辟的本产物具备布局简略,应用局限广、易于保护养护和操纵,其应用服从高、建造老本低、经济效益高,品质靠得住等特色,可以或许非常好地应用于汽车生产行业,薄板加工行业、玻璃行业等,具备非常好的推行应用局限.
 防静电吸塑盘式高低板料机器手是一个简略的关闭式布局,共由两个解放度构成,经历机器手的高低行动和扭转行动完成高低料历程,具备布局简略、体积较小、机能靠得住和费用便宜等特色.凭据工作需求,断定了机器手的工作历程,剖析了机器手的机器环节布局计划.

为钻研等离子体刻蚀中静电防静电吸塑盘绝缘层布局对晶圆温度漫衍匀称性影响,确立了晶圆与静电防静电吸塑盘三维传热模子,接纳中间组合计划技巧剖析了晶圆半径、进气带半径、进气孔半径、槽道深度、毛糙度非常大表面五个布局变量对匀称性的影响,获取布局变量与匀称性的二次相应面方程.

防静电吸塑盘接纳自顺应进化算法对相应面方程优化,后果评释进气孔半径、槽道深度、毛糙度非常大表面是非常显赫影响成分,相应面计较后果与仿真后果同等,该技巧可用于静电防静电吸塑盘的计划研发.


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